FQCW266-10-25-50-100

FQCW266-200

Hauptanwendungen:

  • Raman-Spektroskopie
  • Lithographie

  • Scatterometry

Produktserienvorteile:

  • Nutzerfreundliche Plug & Play Systeme

  • Automatischer Kirstallshifter für maximale Lebensdauer

  • Robustes Design & luftversiegeltes Gehäuse

  • Echtes CW mit hervorragenden Strahleigenschaften

  • Geschlossener Regelkreis zur Einstellung der Ausgangsleistung

  • Geringes Rauschen

  • Single-Frequency Betrieb

  • geringer Serviceaufwand

  • große Kohärenzlänge

Technische Daten:

DUV Dauerstrichlaser mit Automatischem Crystal Shifter

Die DPSS-CW-D-UV-Laser der Serie FQCW266 liefern bis zu 1 W bei 266 nm im Single-Mode Betrieb. Im Vergleich zu anderen CW-Lasern bei 266 nm zeichnen sich die FQCW266-Systeme durch eine große Kohärenzlänge von mehr als 1000 m, eine schmale Linienbreite (<300 kHz) und nicht zuletzt eine geringe Leistungsaufnahme von weniger als 200 W (durchschnittlich 100 W) aus. Die Zentralwellenlänge kann zwischen 266,020 nm und 266,070 nm in Luft variieren. Die Wellenlänge wird auf das Verstärkungsmaximum des Lasermediums optimiert. In der Regel wird die absolute Wellenlänge auf 266,050 nm +/- 0,003 nm (Luft) eingestellt. Es ist bei allen Modellen prinzipiell möglich den Laser mit 10 % bis 110 % der Nennausgangsleistung zu betreiben (d. h. 1 mW …11 mW in 0,1 mW-Schritten). Die Steuerung erfolgt über eine Software. Durch die luftdichten Gehäuse ist der Laser vergleichsweise wartungsarm und besonders für den industriellen 24/7 Betrieb geeignet.

Der FQCW266 verfügt über eine resonante Frequenzkonversionsstufe, die eine feste Wellenlänge von 266 nm unter Verwendung einer eigenen Pumpquelle emittiert. Der Laserkopf ist in einem Aluminiumgehäuse versiegelt, das den Betrieb in einem breiten Spektrum von Umgebungsbedingungen ermöglicht. Die Wärmeabfuhr vom Laserkopf erfolgt durch Luftkühlung – es sind keine weiteren Vorkehrungen (Chiller, Lüfter usw.) erforderlich.

Der Plug-and-play-Laser FQCW-266 wird mit einer Steuereinheit geliefert, die entweder eine Steuerung per Knopfdruck oder eine Fernsteuerung über eine serielle Schnittstelle (RS232 und USB) ermöglicht. Die Laser bieten eine hervorragende Strahlqualität mit M² <1,3, Strahldivergenz <0,8 mrad (Vollwinkel), geringes Intensitätsrauschen unter 0,5 %rms (100 kHz-10 MHz) und eine ausgezeichnete Leistungsstabilität (<1 % in 8 h). Der FQCW266 ist ein kompakter Festkörperlaser in einem Gehäuse, das für einen völlig handfreien Betrieb ausgelegt ist.

Die Anwendungen für die FQCW266 Serie ist stark abhängig von der Laserleistung. Während die Modelle mit 10 mW, 25 mW und 50 mW (FQCW26610, FQCW266-25, FQCW266-10-C, FQCW266-25-C, FQCW266-50) vorwiegend für die Forschung zur Anwendung kommen, werden vor allem die Großgeräte im Dauerbetrieb in der Industrie eingesetzt. Die Laserquellen mit 300 mW, 500 mW und 1 W erfordern eine CDA (clean dry air; saubere, trockene Luft)-Vorrichtung, um den Laser präzise zu betreiben. Ansonsten brauchen die Laser weder eine Spülung (mit Argon oder Stickstoff), noch eine Wasserkühlung. Ab der Leistung ist in die Laser ein ACS (Automatic Crystal Shifter) eingebaut, welcher das Nutzen der Konversionskristalle an mehr als einem Spot ermöglicht. Dies ist eine nachhaltige Lösung, um die Lebensdauer von UV-Lasern zu erhöhen. Die Laser sind außerdem überaus wartungsarm.  

Einzigartige Merkmale der FQCW266-Laserfamilie:

  • Keine Wasserkühlung erforderlich, Konduktionskühlung und Luftkühlung für Versionen mit höherer Leistung
  • Schmale Linienbreite <300 kHz
  • Kohärenzlänge >1000 m
  • Ausgangsleistung einstellbar von 10 % bis 110 % der nominalen Ausgangsleistung. D. h. 20 mW – 220 mW für FQCW266-200
  • Aufwärmzeit <30 min
  • FQCW266 ist ein kompakter Festkörperlaser in einem Gehäuse
  • Integrierter automatischer Kristallschieber (ACS)
  • 24/7-Anwendung von OEM-Kunden in der Halbleiterindustrie genehmigt
  • Niedrige Betriebskosten

Weitere Dauerstrichlaser derselben Wellenlänge

2024-03-14T14:39:07+00:00

FQCW266-200

  • Leistung: 200 mW
  • Linienbreite: < 300 kHz
  • Kohärenzlänge: > 1000 m
  • Strahlqualität M2: < 1.3
  • Grundmode: TEM00
2023-01-19T13:20:58+00:00

FQCW266-300

  • Leistung: 300 mW
  • Linienbreite: < 300 kHz
  • Kohärenzlänge: > 1000 m
  • Strahlqualität M2: < 1.3
  • Grundmode: TEM00
2023-01-19T12:58:42+00:00

FQCW266-500

  • Leistung: 500 mW
  • Linienbreite: < 300 kHz
  • Kohärenzlänge: > 1000 m
  • Strahlqualität M2: < 1.3
  • Grundmode: TEM00
2023-01-24T14:45:13+00:00

FQCW266-1000

  • Leistung: 1000 mW
  • Linienbreite: < 300 kHz
  • Kohärenzlänge: > 1000 m
  • Strahlqualität M2: < 1.3
  • Grundmode: TEM00